为深入开展学习贯彻习近平新时代中国特色社会主义思想主题教育,在以学增智、以学促干中坚持目标导向和问题导向相统一,强化队伍担当、促进发展实效,4月25日,学院概况AEMD平台全体党员及业务骨干一行前往中科院上海微系统所MEMS技术平台及微技术工业研究院(简称“工研院”)工艺研发平台参观学习,中科院上海微系统所传感技术国家重点实验室工程应用党支部书记、MEMS研发平台负责人、研究员级高工戈肖鸿带队给予热情接待。
微系统所MEMS研发平台致力于以微电子技术和微纳加工技术为基础的微纳传感器及微系统研究,可以完成微芯片研发所需的成套工艺;而工研院研发平台则在近年来构建起覆盖8英寸的研发中试线,成为国内首条、世界领先的工艺研发线,技术能力覆盖CMOS先进工艺及MEMS特殊工艺。这些均与AEMD平台的业务领域、发展方向有高度相关,走访交流、互鉴互学的意义重大。
在戈肖鸿的带领下,AEMD平台一行人首先参观了工研院展厅及8英寸研发中试线,了解表面硅、体硅、3D微纳加工技术以及新工艺、新器件、新系统的实验情况,领略其打造从研发到量产高效平台的规划布局及建设初心。随后在微系统所MEMS研发平台的参观中,AEMD平台一行人对净化室安全规定、管理模式、规章制度、设备使用效能等方面进行了深入交流。整个参观走访过程紧凑充实,大家纷纷表示收获良多,平台党支部书记刘毓闻表示,AEMD平台本就以支撑微纳领域的原创性科研为己任,以学增智、以学促干、提升管理服务效能、聚焦高质量发展是响应新时代发展号召的必然要求;党员、集成部主管权雪玲表示,这次的参观交流让很多困扰已久的问题获得了意想不到的启发,有很强的借鉴指导作用;党员、测试部主管瞿敏妮认为,工研院和MEMS研发平台在设备开放程度和管理服务模式上有很多值得学习借鉴的地方,为大家更好应对挑战增添信心;平台主任程秀兰号召全平台成员及时总结参观学习心得并有效运用到实际工作中,以实干担当应对新形势新挑战。
本次活动也是电院AEMD平台直属教工党支部围绕主题教育要求,在坚持目标导向与问题导向相统一、深入践行党建与业务工作深度融合过程中的重要一环。