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基地名称（中文）：微米纳米加工技术全国重点实验室
基地名称（英文）：National Key Laboratory of Advanced Micro and Nano Manufacture Technology
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微米纳米加工技术全国重点实验室联合了北京大学和上海交通大学两所国内一线高校的优势力量，聚焦系统智能化、微型化的微米纳米加工技术，共建了超3800平米的超净空间，设备固资保有超亿元。成立20多年来，在国际MEMS顶级年会发文百余篇，领域权威期刊发文量长居前列，在国内国际相关技术领域拥有重要的学术地位。于此同时，拥有多项自研MEMS标准工艺及国际标准，为全国百余家单位提供万余批次、逾15万片加工服务，关键技术成功转移至国内重要工业部门，研制出多项自主可控的核心器件与微系统、有力支撑我国科技重大工程建设。曾获国家技术发明二等奖2项，省部级科技奖励7项，是我国的重要微米纳米加工技术前沿创新基地、高质量人才培养基地、高水平交流合作中心、技术孵化和工艺服务平台。
重点实验室（上海交通大学部分）面向国际微纳科技前沿和国家重大战略需求，开展微纳加工的基础及应用基础研究，突破了高深宽比LIGA和准LIGA技术、多层复杂微加工技术、柔性基底微加工技术、微纳复合微加工、非硅与硅集成技术等关键技术，形成完整的非硅三维微纳加工技术体系，支撑了国内第一条非硅MEMS中试生产线建设。在金属基、陶瓷基、聚合物基等非硅微机电系统（MEMS）和非硅微纳加工及异质异构集成方面形成特色和优势，研制了电磁微马达、MEMS脑机接口器件、极端环境MEMS传感器、MEMS光开关、MEMS密码锁、GMR微传感器、微流控芯片、柔性MEMS传感器等关键元器件。先后以第一完成单位获得国家发明二等奖2项。十三五期间，重点实验室（上海交通大学部分）承担科研项目200余项，合同经费逾5亿元，发表研究论文300余篇，授权发明专利180余例。
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